1、羅茨泵的前級抽速: 2、粗抽泵的抽速選擇: S=(0.1~0.2)S羅 S=Q1/P預(yù) S=2.3Kq·V·lg(Pa/P預(yù))/t S -機(jī)械泵有效抽速(升/秒) S羅 -羅茨泵有效抽速(升/秒) Q1 -真空系統(tǒng)漏氣率(托·升/秒) P預(yù) -需要達(dá)到的預(yù)真空度(托) V -真空系統(tǒng)容積(升) t -達(dá)到P預(yù)時(shí)所需要的時(shí)間 Pa -大氣壓值(托) Kq -修正系數(shù)與設(shè)備終值時(shí)壓強(qiáng)P有關(guān)